晶圓外觀檢查裝置 (Vi series)
晶圓外觀檢查裝置 (Vi series)
晶圓的佈線圖案、崩裂、混入異物等產品外觀高速、高精度檢查。
Vi-series裝置規格
| Vi-4202R | Vi-4304C | |
|---|---|---|
| Camera | 4M Monochrome | 4M Color |
| Wafer Size | ~200mm | ~300mm |
| Handling | Robot | |
| Loader | Open Cassette | Open Cassette, FOUP, FOSB |
| Defect Size(μm) | 1.2/ 2.4 / 5.0 (objective lens 10x / 5x / 2.5x) | |
| Size | 1600mm(W) x 1300mm(D) x 1800mm(H) | 2280mm(W) x 1140mm(D) x 2060mm(H) |
| Weight | 1200kg | 1700kg |
| Application | CMOS image sensor, POWER device, RF filter, BUMP, MEMS | |
1.缺陷示例
2.區域（層）分類精細檢測
- 依照產品狀態可進行區域分類檢查可實現多種檢查條件設定。
- 各個檢測區域可設定不同檢測條件。
3.通過各種照明和彩色影像細化檢查影像
- 灰階檢查無法檢測到的缺陷可以通過彩色檢查來檢測。
- 使用各種光線的組合使看不見的缺陷清晰可見。
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