Mura檢査/膜厚測量装置

MURA/膜厚測量裝置是檢測LCD生產過程中出現的Mura缺陷的裝置。
基於我們在面板領域的豐富經驗，我們實現了將原本通常由操作員進行目視檢查SUJI 及 點狀的Mura檢查過程的自動化。

 

優點

• 我們在LCD彩色濾光片製造工程、CELL組裝工程及各工程中實現了Mura檢測。
• 根據工程提出最佳的光學系統。
• 可以檢測旋轉塗布機起因、噴墨塗佈設備起因和搬送起因等的缺陷。
• 作為OPTION功能，可以安裝全面的膜厚管理功能及膜厚量測頭。

檢查對象

検査對象
CF工程光阻塗布Mura、TFT工程光阻塗布Mura、各種工程光阻塗布Mura

規格

取像方式	CCD 線傳感Camera
照明方式	透過照明 or 反射照明
使用光源	LED or 金屬鹵素燈照明
檢查載台	適合各工程的光學濾鏡
缺陷檢出能力	幅1mm以上
	※但事前需以顧客提供的樣品進行檢測評價
檢測時間例	検査時間：30sec/sheet以内 (2200×2500mm）

OPTION

• 全面膜厚管理功能
• 搭載膜厚測量頭

連結相關技術情報

SYSTEM UP

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