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半導体

ウェーハ表面検査装置 (WM series)

製品情報Product Information ウェーハ表面検査装置 (WM series)

WM-10機器

Non-patterned 300mm Wafer surface Inspection system

WM-10

WM – 10 is a standard model of 300 mm wafer.
It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.

WM-7S/7SG機器

Non-patterned below 200mm Wafer surface Inspection system

WM-7S/7SG

WM – 7 series is the most reasonable high – performance model below 200 mm wafer size.
WM – 7SG can inspect transparent wafers.

WM-series Specification

 WM-10 WM-7S/7SG
Sensitivity48nm@Bare-Wafer80nm@Bare-wafer:WM-7S
200nm@Glass-wafer:WM-7SG
Wafer Size~300mm~200mm
Optical SourceLaser Diode(405nm)
LoaderFOUP(1 or2)/Open CassetteOpen Cassette
Size1482mm×1173mm×1950mm860mm×900mm×1650mm
ApplicationBare-wafer/Filmed-wafer

1. Original Optical System for High-sensitivity

  • WM-10 have 2axis Incident angle for particle.

  • WM-series have 2 wide NA lens for High-sensitivity detected.

2. Spiral Scan With high-resolution XY-potsion

  • WM-series are spiral scan method with rotation speed control.
  • XY-Data send to EB review Equipment then it can be review with easy alignment.

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TEL:03-3413-882