電子部品向けウェーハ検査装置(VC series)
電子部品向けウェーハ検査装置(VC series)
VC シリーズは電子部品向け小径ウェーハ、化合物半導体などの小径ウェーハに特化した検査装置です。 各検査ニーズに対応した検査ヘッドを選択し、目視検査から自動検査への移行を進めることが可能な、コストパフォーマンスモデルです。
特長
- 同一プラットフォームを採用し、単一検査に特化することにより、ハイコストパフォーマンスを実現。
- 深さ(VC-10)、外観(VC-20)、高さ(VC-30)の用途別の検査ヘッドの選択が可能。
- 自動搬送、アライナーなど自動検査機としてのシステム構成も実装し、省人化に貢献。
仕様
| VC-10 | VC-20 | VC-30 | |
|---|---|---|---|
| 用途 | 深さ検査 | 外観検査(2D) | 高さ検査(3D) |
| ウェーハサイズ | 4 inch / 6 inch | ||
| ローダー | オープンカセット(1port)、ロボット + アライナー | ||
| 検査ヘッド | 変位センサ | モノクロエリアカメラ | タカノオリジナルカメラ |
| 検査項目 | TSV、トレンチ深さ | 異物、欠陥など | バンプ高さ、コポラナリティ |
| オプション | 直径、幅検査ユニット | 暗視野照明ユニット | 2D検査ユニット |
装置外寸
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