高精細外観検査装置（AOI）
高精細外観検査装置
本装置はLCDをはじめ、OLEDやタッチパネル基板などの微細パターンの検査が可能です。
高分解能レンズを備えたラインセンサカメラと最適な光学系の組合せで取り込まれた画像データは、弊社独自の画像処理装置により高速処理され、リアルタイムに基板の状態を把握することが可能です。
特長
- 新たな処理方法により、規則パターン及び不規則パターンや長周期パターンの検査が可能。
- 表示部検査と同時に端子部検査が可能となりTFT基板やタッチパネル基板などの検査に最適です。
- オリジナルアルゴリズム”GFC”によりノイズを抑制し、高精細なパターンのオープン/ショートなど微細な欠陥を検出可能としました。
- 自社開発の高速画像処理技術と高精細検査用レンズにより、高速でかつ安定した検査が可能です。
検査対象
検査対象
LCD（CF、TFT）、有機ELディスプレイ、タッチパネル
仕様
| 最高分解能 | 2μm/pix |
| カメラ | 自社製CCDラインセンサカメラ （16000画素（560MHz）/7400画素（266MHz)） |
| 照明方法 | メタルハライド光源250W＋特殊光学素子付きグラスファイバー照明 または高輝度LED照明 各工程に合わせた光学フィルター |
| 検査ステージ | フリーローラー/エアースライダー リニアモーターステージ |
| レビューユニット | ズーム顕微鏡 光学倍率×5.0～×50 高速オートフォーカスユニット（トレースモード機能付き） |
| 欠陥検出能力 | 2μm以上 |
| タクト例 | 検査時間：60sec/sheet（検出能力5μｍ時） |
オプション
- シミ検査機能：シミなどの低コントラスト欠陥も検出
- 高速画像転送機能：検査をしながら欠陥情報とともに欠陥画像を高速転送
- ADC（自動欠陥分類機能）：リアルタイムグレー処理、高精細カラー処理を併用
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