ウェーハ外観検査装置 (Vi series)
ウェーハ外観検査装置 (Vi series)
ウェーハの配線パターンやクラック、異物混入などの製品外観を高速、高精度に検査します。
Vi-series Specification
| Vi-4202R | Vi-4304C | |
|---|---|---|
| Camera | 4M Monochrome | 4M Color |
| Wafer Size | ~200mm | ~300mm |
| Handling | Robot | |
| Loader | Open Cassette | Open Cassette, FOUP, FOSB |
| Defect Size(μm) | 1.2/ 2.4 / 5.0 (objective lens 10x / 5x / 2.5x) | |
| Size | 1600mm(W) x 1300mm(D) x 1800mm(H) | 2280mm(W) x 1140mm(D) x 2060mm(H) |
| Weight | 1200kg | 1700kg |
| Application | CMOS image sensor, POWER device, RF filter, BUMP, MEMS | |
1. Example of defects
2. Fine detection by area(layer) classification
- The area classification realizes multiple inspection sensitivity and tolerance depending on features of device pattern.
- Each area can have inspection parameters
3. Refined image by various lighting and color image
- Defects that cannot be detected by grayscale inspection can be detected by color inspection.
- Combination of various light makes invisible defects see.
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