ムラ検査/膜厚測定装置
ムラ検査/膜厚測定装置
ムラ/膜厚検査装置は、LCD生産工程で発生するムラ欠陥を検出する装置です。
当社のフラットパネル分野での豊富な経験を基に、スジ状に発生するものから点状に発生するものまで、従来はオペレーターによる目視検査を行っていた検査工程の自動化を実現しました。
特長
- LCDカラーフィルター製造工程やセルアセンブリ工程、各工程でのムラ検出を実現しました。
- 工程に併せ最適な光学系を提案することが可能です。
- スピンコーター起因、インクジェット塗布装置起因、搬送起因など、様々な起因による欠陥検出が可能です。
- オプション機能として全面膜厚管理機能、膜厚測定ヘッドの搭載も可能です。
検査対象
検査対象
CF工程レジストコートムラ、TFT工程レジストコートムラ、各種工程レジストコートムラ
仕様
| 照明方法 | 透過照明 or 反射照明 |
| 使用光源 | LED or メタルハライド照明 各工程に合わせた光学フィルター |
| 撮像方式 | CCDラインセンサーカメラ |
| 検査ステージ | コンベア搬送 ※お客様の既存コンベア設置可能ですが、改造を必要とする場合があります |
| 欠陥検出能力 | 幅1mm以上 ※但し、事前にお客様の欠陥品サンプルにて評価させて頂きます |
| タクト例 | 検査時間：30sec/sheet以内 (2200×2500mm） |
オプション
- 全面膜厚管理機能
- 膜厚測定ヘッド搭載
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