高精細外觀檢査裝置

本設備可以檢查 LCD、OLED 和觸控面板等精細的圖案(Pattern)。
配備高解析度鏡頭的線傳感相機和最佳光學系統組合所存取的畫像資料
由我們獨創的畫像處理設備進行高速處理，可以實時掌握基板的狀態。

 

優點

• 使用全新的畫像處理方法，可以檢查規則圖案、不規則圖案(pattern)和長周期圖案(Pattern)。
• 可以同時檢查顯示部及端子部分，非常適合TFT基板和觸控螢幕的檢查。
• 獨創的演算法“GFC”抑制了Noise，並可以檢查高精細圖案的開路/短路等微小缺陷。
• 透過我們開發的高速畫像處理技術和高精細檢查鏡頭，可以高速且穩定的檢查。

檢查對象

検査對象
LCD（CF、TFT）、有機EL顯示器、觸控面板

規格

最高解析度	2μm/pix
Camera	自製CCD線傳感Camera
	（16000画素（560MHz）/7400画素（266MHz)）
照明方法	金屬鹵素燈光源250W＋附有特殊光電素子的玻璃纖維照明
	以及高輝度LED照明
	符合各工程的光學濾鏡
検査Stage	自由滾輪(Free Roller)/氣動滑塊
	線性伺服馬達平台
Review Unit	Zoom顕微鏡　光學倍率×5.0～×50
	高速自動對焦單元（附循跡模式功能)
缺陷檢出能力	2μm以上
Tact Time範例	検査時間：60sec/sheet（検出能力5μｍ時）

OPTION

• 汙斑檢測功能：汙斑等檢出低對比度缺陷
• 高速畫像傳輸功能：在檢查時高速傳輸缺陷畫像以及缺陷信息
• ADC（自動缺陷分類功能）：結合即時Gray處理和高精細顏色處理

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